디스플레이 제조장비
디스플레이 제조장비
CCBS-IR Series
IR가열 Type의 매엽식 Clean Oven으로 차세대 Display용 TFT인 IGZO와 LCD, OLED의 각종 소성 처리가 가능합니다.
Features
- · Particle이 없는 깨끗한 구조와 정밀한 분위기 제어로 높은 Clean 성능을 실현
· 가열 효율이 뛰어난 원적외선(IR) 가열 방식을 사용하고, 모든 제품에 대한 고효율 처리가 가능
· 온도 균일성이 뛰어난 IR패널 Heater를 채용하여 10세대 등의 대형 기판에 대해서도 균일한 가열이 가능
· 분위기 처리, 로내에 질소 가스를 사용하면 저산소 농도에서 가열 처리가 가능
Applications
IGZO 제조, LTPS 제조, 배향막・Array 기판의 소성, Array 공정, 각종 Anneal, Passivation의 소성 Seal 본체 경화/임시 경화Specifications
