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제품정보

디스플레이 제조장비

디스플레이 제조장비

VFS Series

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최고 사용 온도 500℃까지 LTPS(저온 폴리 실리콘)처리에 최적화된 Batch식 Clean 가열 Oven입니다.

Features

  • · 독자적인 Seal 구조로 불활성 가스를 도입하며, 무산화 처리가 가능
    · Oven 강제 냉각 장치, 기판 이동의 고속화로 Tact time을 단축

Applications

LTPS, TFT의 각종 Anneal 공정

Specifications

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