진공건조기
독자적인 초박형 패널 Heater를 진공 Chamber 내에 Batch함으로써 10세대까지의 대형 LCD 기판에서 진공 처리를 가능하게 합니다.
Features
- · 고복사율의 초박형 패널 Heater를 진공 Chamber 내부에 장착함으로써, 진공 중에서 가열 처리가 가능
· 전/후 공정 장치와 진공 Load Lock 접속이나 기판 반송 Robot을 조합한 시스템 등 다양한 처리 형태에 대응
Applications
탈수 Bake, 용제 건조, Anneal
Specifications
