반도체 제조장비
반도체 제조장비
VF-3000 Series
우수한 하드웨어와 제어 시스템으로 R&D 용도에서 양산 라인까지 사용할 수 있는 종형로입니다.
LGO Heater, 이규화 몰리브덴 Heater, 카본 Heater를 구분하여 초고온 공정에도 대응 합니다.
Features
- · 미니 배치, 50~75장 처리의 선택이 가능, R&D에서 양산 라인까지 대응
· LGO Heater 탑재로 저온에서 중·고온까지 우수한 온도 특성을 발휘
· 매엽 반송 로봇에 의한 고속 웨이퍼 반송
· 사용의 용이성을 추구한 간이형 제어 시스템을 채용
· 이규화 몰리브덴 Heater와 카본 Heater를 탑재(H Type)하여 초고온 프로세스에도 대응
· 기밀성이 높은 챔버 구조를 채용
Applications
[VCSEL]Thermal oxidation, Contact annealing
[Semiconductor]
Annealing, Thermal oxidation, LPCVD, Activated annealing, Impurity diffusion, Polyimide curing, Gettering, Sintering/Alloy
[SiC Power Semiconductor]
Thermal oxidation, LPCVD, POA
[MEMS]
Thermal oxidation, LPCVD
Specifications
