반도체 제조장비
반도체 제조장비
VF-5100 Series
생산 라인에 맞추어 유연하게 대응이 가능한 종형로입니다.
LGO Heater, 이규화 몰리브덴 Heater를 구분하여 초고온 공정에도 대응합니다.
Features
- · 생산 라인에 맞추어 유연한 장치 구성 가능
· 오퍼레이터 친화적인 고기능 제어 시스템 탑재
· 5장 일괄＋매엽 반송 로봇에 의한 고속 웨이퍼 반송
· LGO Heater 탑재로 저온에서 중·고온까지 우수한 온도 특성을 발휘
· 이규화 몰리브덴 Heater를 탑재(H Type)하여 초고온 프로세스에도 대응 가능
Applications
[VCSEL]Thermal oxidation, Contact annealing
[Semiconductor]
Annealing, Thermal oxidation, LPCVD, Activated annealing, Impurity diffusion, Polyimide curing, Gettering, Sintering/Alloy
[SiC Power Semiconductor]
Thermal oxidation, LPCVD, POA
[MEMS]
Thermal oxidation, LPCVD
Specifications
