제품정보

Features

• · 최대 20개의 카세트 스토커로 연속 배치 처리 가능
  · 오퍼레이터 친화적인 고기능 제어 시스템 탑재
  · 5장 일괄＋매엽 반송 로봇에 의한 고속 웨이퍼 반송
  · LGO Heater 탑재로 저온에서 중·고온까지 우수한 온도 특성을 발휘
  · 이규화 몰리브덴 Heater를 탑재(H Type)하여 초고온 프로세스에도 대응 가능

Applications

[VCSEL]
Thermal oxidation, Contact annealing

[Semiconductor]
Annealing, Thermal oxidation, LPCVD, Activated annealing, Impurity diffusion, Polyimide curing, Gettering, Sintering/Alloy

[SiC Power Semiconductor]
Thermal oxidation, LPCVD, POA

[MEMS]
Thermal oxidation, LPCVD

Specifications