반도체 제조장비
반도체 제조장비
VF-5700 Series
미니 배치 25~50장 일괄 처리 타입의 종형 확산로입니다.
LGO Heater 채용으로 저온~중·고온까지의 넓은 범위에서 뛰어난 온도 특성을 발휘합니다.
Features
- · 미니 배치, 25~50장 일괄 처리로 유연한 처리 능력을 발휘
· 고속 승온 가능한 고출력 Heater 탑재로 처리량 향상
· 매엽에 의한 고속 Wafer 반송
· 오퍼레이터 친화적인 고기능 제어 시스템 탑재
Applications
[Semiconductor]Annealing, Thermal oxidation, LPCVD, Impurity diffusion, Polyimide curing, Gettering, Sintering/Alloy
[MEMS]
Thermal oxidation, LPCVD
[Packaging]
Polyimide cure
Specifications
