반도체 제조장비
반도체 제조장비
VF-5900 Series
300mm 웨이퍼 최대 100장, FOUP 16개의 일괄 처리가 가능한 대형 배치 양산 타입의 종형 확산로입니다.
LGO Heater의 채용으로 저온~중·고온까지 뛰어난 온도 특성을 발휘합니다.
Features
- · 대형 배치, 최대 100장 일괄 처리 가능
· 최대 16개의 FOUP Stocker
· LGO Heater 탑재로 저온에서 중·고온까지 우수한 온도 특성을 발휘
· 매엽＋5장 일괄 반송 로봇에 의한 고속 Wafer 반송
· 오퍼레이터 친화적인 고기능 제어 시스템 탑재
Applications
[Semiconductor]Annealing, Thermal oxidation, LPCVD, Impurity diffusion, Polyimide curing, Gettering, Sintering/Alloy
[MEMS]
Thermal oxidation, LPCVD
Specifications
