반도체 제조장비
반도체 제조장비
RLA Series
할로겐 램프에 의한 상, 하 램프 구조의 채용으로 뛰어난 면내 온도 균일성을 실현한 Lamp Annealing System입니다
Features
- · ~Φ200mm까지 폭넓은 Wafer size에 대응
· 다축 클린 로봇에 의한 고정밀도의 반송과 생산성 향상
· 최대 50장의 연속 처리가 가능
· 내진공 설계된 석영 Tube에 의해 가스 치환을 감압 중에서 처리가 가능(옵션)
· 오퍼레이터 친화적인 고기능 제어 시스템 탑재
Applications
[VCSEL]Contact annealing
[Semiconductor]
Thermal oxidation, Annealing(RLA-1200, DTL-6은 협의가 필요합니다.)
Specifications
