전자부품 제조장비
전자부품 제조장비
CLO Series
내열HEPA Filter로 공기 청정도 Class100(ISO : Class5)(온도안정시)를 유지하면서 처리할 수 있어 신뢰성 및 수율 향상이 요구되는 정밀 부품 등의 처리에 적합합니다.
Features
- · 로 내부를 Seal 가공한 고기밀성으로 양호한 청정도와 분위기를 유지
· 내열성 HEPA Filter를 채택, 온도안정시 로내는 Class 100(ISO : Class5)유지 가능
· 옵션인 N2 도입 System을 장착함으로서 로내 잔류산소농도 100ppm이하(참고) 실현
Applications
반도체 Wafer·Glass 기판의 Cure/Baking/Aging 등Specifications
