반도체 제조장비
반도체 제조장비
RLA-4106-V
Si, GaN, SiC 등을 단시간에 고정밀도로 처리가 가능한 Lamp Annealing System입니다.
Features
- · 진공 대응 챔버 및 N2 Load-lock 반송을 표준 탑재
· 상, 하 모두 할로겐 램프 설치
· 6존 제어로 간편하게 각각의 Power 비율 설정 가능
· 방사 온도계에 의해 비접촉으로 처리물의 온도를 측정하여 피드백 제어가 가능
Applications
[Semiconductor]Annealing, Thermal oxidation
[SiC Power Semiconductor]
Contact annealing
Specifications
