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제품정보

반도체 제조장비

반도체 제조장비

VF-5100 Series(MEMS용)

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MEMS용으로 풍부한 출하 실적을 가지고 있는 종형로입니다.

Features

  • · 생산 라인에 맞추어 유연한 장치 구성 가능
    · 오퍼레이터 친화적인 고기능 제어 시스템 탑재
    · 5장 일괄＋매엽 반송 로봇에 의한 고속 Wafer 반송
    · LGO Heater 탑재로 저온에서 중·고온까지 우수한 온도 특성을 발휘

Applications

[MEMS]
Oxidation, Diffusion, LPCVD, Annealing

Specifications

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제품문의