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실험·연구(R&D) 용도로 고품질의 프로세스를 실현하는 소량 생산용 종형로
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※ 장비 모델에 따라 공정, 처리품에 차이가 있습니다. 상세 내용은 제품 페이지를 참고해주세요.
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소형 실험·연구(R&D)부터 양산까지 요구에 맞춘 실리콘 웨이퍼와 태양 전지의 생산 용도에도 사용할 수 있는 횡형로
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Φ100~200mm 웨이퍼 대응, R&D에 있어서도 고품위 처리를 실현한 Lamp Annealing System
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내열형의 고성능 필터와 독자 냉각기의 탑재로 최고 530℃까지(V형은 500℃까지)의 고온 처리를 실시할 수 있는 Clean Oven
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전력반도체(화합물)용으로 특화된 장비입니다.
다른 VF Series에서도 전력반도체 공정 대응 가능합니다.Applications
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VCSEL용으로 특화된 장비입니다.
다른 VF Series에서도 VCSEL 공정 대응 가능합니다.Applications
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MEMS용으로 특화된 장비입니다.
다른 VF Series에서도 MEMS 공정 대응 가능합니다.Applications
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