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제품정보

디스플레이 제조장비

LCD 및 OLED와 같은 제품을 위한 청정 가열 시스템, 고성능 필름 및 배터리 전극 재료와 같은
시트 재료를 위한 용해로가 있으며, 기타 다양한 분야의 열처리 할 수 있는 장비를 Line-up하고 있습니다.

디스플레이 제조장비

  • 차세대 Display용 TFT로 주목 받는 IGZO, LTPS에도 대응 가능한 FPD용 가열 장치

    Applications

    LCD, OLED, 고기능 필름, 2차전지 전극 재료 등의 Sheet재, 연료전지, 수소 탱크 등의 건조
    IGZO제조, LTPS제조, 배향막・Array기판의 소성, Array공정, 각종 Anneal, Passivation의 소성 Seal본체 경화/임시 경화

  • LTPS(저온 폴리 실리콘)처리에 최적화된 Batch식 Clean 가열 Oven

    Applications

    LCD&OLED LTPS, TFT의 각종 Anneal공정